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全自動開蓋及輸送化學液系統

亞泰半導體設備股份有限公司

亞泰半導體設備成立於1997年,成立之初為臺灣工研院育成中心的化學機械研磨平整CMP設備研究團隊,該團隊為亞泰前身,累積對半導體CMP製程瞭解的養分,做為提供磨液供應系統SDS (Slurry Dispense System Total solution)工藝技術及系統整合的優勢;為全球關鍵半導體大廠之供應商,且多次獲得台灣精品獎的認可。

亞泰為提供完整的供磨液供應系統方案,以作為半導體先進製程前進腳步的助力;整合範疇包括研磨液供應中央/單一設備(SDS)、化學液輸送系統(CDS)、系統工程、製程品質監控管理系統、供應系統獨家優化方案及客製化關鍵零元件等。

方案內容

本產品以高科技廠務化學輸送系統為基礎,結合獨家開發的自動化裝置,推出全球首創最經濟節能的「全自動開蓋及輸送化學液系統」;實現化學桶的「移載、開蓋、抽液」的資料智慧化及作業自動化管理。


全自動的化學桶搬運、開蓋及抽液作業;無論是軟質或硬質的55加侖化學桶皆可移載、旋轉及對位;各種刻痕紋路的化學桶密封蓋,皆可在無需更換開蓋器的前提下達到高效率的自動開蓋、取蓋及復鎖蓋;自動對位的抽液管,將化學液體抽送至更上層的化學輸送系統,此外,搭配底盤傾斜裝置,進一步確保化學桶內的液體可傾斜抽空。


本產品的資料採集與監控系統(SCADA)與客戶端的中央廠務監控系統(FMCS)共同協作,將包括「化學桶推桶入抽液設備、開桶蓋、抽液管對位置及抽液、鎖桶蓋、復推桶出設備」等作業數據進行蒐集、整理、應用與管理,以實現100%自動化學桶抽液控管。


本產品應用於半導體或高科技廠房設施的化學桶抽液作業,可建立廠務運轉大數據履歷,以更加節省人力、非人接觸化學品的安全作業,且精準掌握抽液運轉之全天候廠務設施管理,提升工廠智慧化管理與協助客戶達到更佳的ESG經營目標。

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