
真空鍍膜技術是當今各式高科技製造業最不可或缺的技術之一,相關技術影響層面包含電子、光電、半導體製造業、表面工程、高硬度高強度、耐磨抗腐蝕、裝飾與保護等等。鍍膜種類與相關配合技術繁多,隨產業發展各項技術亦不斷進化。本課程從相關真空技術與設備、電漿原理、薄膜沉積技術等作為主軸,輔之以薄膜奈米結構分析、保護性鍍膜等專題做實務性探討,內容包含簡易真空原理、真空儀器、電漿原理、離子與物質作用、物理與化學各式沉積方法、薄膜成長概論、奈米結構薄膜、硬質鍍膜及相關檢測分析技術等。期望藉由此專題性之短期訓練,提升國內真空鍍膜相關技術、設備之優質人力,並增進產業與學術界間交流,達到協助產業人力樹優化之效。