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【智慧電子人才應用發展推動計畫】
半導體產業中製造到成品必須經歷很多材料的製程工序，每一個工序都可能會造成良率或可靠度不穩定，本課程著重積體電路製造產線過程中的監控量測與良率關係，確保積體電路製造中每一個製程都能符合預期成效，講解如何設計監控的查核點(WAT)將是本課程的重點以及調整查核點(WAT)的嚴謹程度，解說與推論積體電路故障的成因以及用什麼方法找出問題，藉此來修正製程流程．另外產品等級的測試(CP)方法與製程關係也會進行解說，另外也會描述半導體元件或電路中與可靠度相關的知識與名詞，讓剛踏入這個領域的人員可以快速吸收從製程開始到產品完成過程中良率、故障與可靠度分析的所有專業知識，最後說明目前業界經常使用的故障分析工具來強化工作上的實戰經驗，讓分析理論與工作實務得到驗證。
日期
講題
講師
7/29
09:30~12:30
1.半導體製程量測-(著重產線過程中的分析監控量測與良率關係)
．積體電路製程流程概述．
．WAT (wafer acceptable test)觀念
．製程過程中的量測技術
．設計準則 (Design Rule)
南臺科技大學電子工程系兼光電與
積體電路故障分析中心執行長
邱特聘教授
12:30-13:30
午餐
13:30-16:30
2.IC故障分析-(著重在故障成因與良率關係)
．良率的概念
．良率與故障分析流程
．故障案例分析
．晶圓測試相關流程與測試靈敏度(test marginality、shomo plot)
南臺科技大學電子工程系兼光電與
積體電路故障分析中心執行長
邱特聘教授
7/30
09:30~12:30
3.半導體材料分析技術與應用 (著重在材料分析常用設備與技術)part1
．Application of Emission Microscopy (EMMI)
．Beam-injection Analysis in Materials
．Application of Scanning Electron Microscope (SEM)
南臺科技大學電子工程系兼光電與
積體電路故障分析中心執行長
邱特聘教授
12:30-13:30
午餐
13:30-16:30
4.半導體材料分析技術與應用 (著重在材料分析常用設備與技術)part2
．Application of Dual-beam Focus Ion Beam (DB-FIB)
．Voltage Contrast (VC)
南臺科技大學電子工程系兼光電與
積體電路故障分析中心執行長
邱特聘教授
16:30-16:40
複習&隨堂測驗
主辦單位
經濟部工業局
執行單位
社團法人台灣電子設備協會
上課地點
※本課程為【線上課程】：使用Webex遠距同步直播授課，讓學員能於所在地使用自己的電腦進行遠距課程，除了節省學員交通往返時間與成本，學習亦不受任何限制與疫情影響!!
課程日期
110年7月29日-7月30日
報名日期
即日起至110年7月23日止，額滿提前截止。
報名費用
一般身分補助70%：每人3,000元整（原價NT$10,000，政府補助 NT$7,000，學員自付 NT$3,000）
繳費資訊
以先繳費者為優先，額滿為止。(費用請勿另扣除郵資及匯兌手續費。)
1.支票或匯票─請開立110年7月28日到期支票，“掛號”郵寄方式繳費並附線上報名通知影本
►支票或匯票抬頭─社團法人台灣電子設備協會(請務必寫全名)
►郵寄地址─11011台北市信義路五段5號3樓3E41室 鄭 小姐收
2.電匯或ATM轉帳後, e-mail匯款收執聯或ATM轉帳記錄並註明報名課程及人員
►受款帳戶─社團法人台灣電子設備協會(請務必寫全名)
►受款銀行─土地銀行工研院分行 (土銀代碼：005)
►受款帳號─156-001-000951
►備 註─請勿塗改轉出帳號，以利本會對帳核銷
繳費資訊
若欲取消報名， 請於開課前2日以傳真或email告知主辦單位， 並電話確認退費事宜，逾期將郵寄講義，恕不退費。 未於期限內申請退費，則不得以任何因素要求退費，惟可轉讓與其他人參訓。
聯絡人
TEL：02-27293933 ext.17楊小姐, ext.22鄭小姐
FAX：02-27293950
E-mail：vivi@teeia.org.tw、anne@teeia.org.tw
