【金屬產業智機化提升計畫】
半導體產業中製造到成品必須經歷很多材料的製程工序，每一個工序都可能會造成良率或可靠度不穩定，藉由學習元件與材料分析、半導體製程量測、積體電路故障分析等三種不同級的電性、物性、光性分析方法與故障分析工具的介紹，從重要的故障分析儀器入門，清楚介紹儀器的物理行為與如何應用在半導體產業之故障分析，以及積體電路製程流程的監控手法，讓工作以及產品的良率提升可以更加順暢。
課程與研討會內容介紹
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日期
講題
講師
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11/19
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09:30-12:30
1.半導體製程量測- (著重產線過程中的分析監控量測與良率關係)
.積體電路製程流程概述
.WAT (wafer acceptable test)觀念
.製程過程中的量測技術
.設計準則 (Design Rule)南臺科技大學電子工程系 特聘教授 兼光電與積體電路故障分析中心執行長
邱教授 -
12:30-13:30
午餐
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13:30-16:30
2.IC 故障分析-(著重在故障成因與良率關係)
.良率的概念
.良率與故障分析流程
.故障案例分析
.晶圓測試相關流程與測試靈敏度(test marginality、shomo plot)南臺科技大學電子工程系 特聘教授 兼光電與積體電路故障分析中心執行長
邱教授 -
11/20
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09:30-12:30
3.半導體材料分析技術與應用Part1-(著重在材料分析常用設備與技術)
.Application of Emission Microscopy (EMMI)
.Beam-injection Analysis in Materials
.Application of Auger Electron Spectroscopy (AES)南臺科技大學電子工程系 特聘教授 兼光電與積體電路故障分析中心執行長
邱教授 -
12:30-13:30
午餐
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13:30-16:30
4.半導體材料分析技術與應用Part2
.Application of Scanning Electron Microscope (SEM)
.Application of Dual-beam Focus Ion Beam (DB-FIB)
.Voltage Contrast (VC)
.Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)南臺科技大學電子工程系 特聘教授 兼光電與積體電路故障分析中心執行長
邱教授 -
16:30-16:40
複習&隨堂測驗
報名資訊
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主辦單位
經濟部工業局
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執行單位
社團法人台灣電子設備協會
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上課地點
工業技術研究院產業學院台北學習中心4樓(台北市和平東路二段 106號)＊實際地點依上課通知為準＊
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課程日期
108年11月19-20日
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報名日期
即日起至108年11月18日止
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報名費用
以下費用，含稅（請勿扣除郵資或手續費）、講義及餐費 。
1.一般身分工業局補助50%：每位5,000元整(原價10,000元，政府補助5,000元，學員自付5,000元。)
2.特定身分工業局補助65%: 每位3,500元整(原價10,000元，政府補助6,500元，學員自付3,500元)
2-1.身心障礙：報名時出具證明(身心障礙手冊正反面影本) 即可享有優惠。
2-2.原住民與低收入戶之人士：「原住民族身分法」所定原住民身分證明及低收入 戶證明之相關證明文件即可享有優惠。
2-3.中堅企業員工：須任職於工業局擇定重點輔導之中堅企業，並檢附 『在職證明正本』
中堅企業名單請至網址查詢：http://www.mittelstand.org.tw/(第1~4屆中堅企業) -
課程優惠
1.同公司2人同行享每人NT$4,500元
2.同公司3人同行享每人NT$4,000元
3.TEEIA會員享每人NT$4,000元。
※活動當天現場繳費 恕不享以上優惠資格※ -
繳費資訊
因現場座位有限，以先繳費者為優先，額滿為止。
1.支票或匯票─請開立108年11月19日到期支票，“掛號”郵寄方式繳費並附報名表影本
►支票或匯票抬頭─財團法人工業技術研究院（請寫全名）
►郵寄地址─110台北市信義路五段5號3樓3E-41室 鄭小姐收
2.電匯或ATM轉帳後“傳真”匯款收執聯或ATM轉帳記錄並註明報名課程及人員
►受款帳戶─財團法人工業技術研究院（請寫全名）
►受款銀行─土地銀行工研院分行(土銀代碼：005)
►受款帳號─156-005-00002-5
►備 註─請勿塗改轉出帳號，以利本會對帳核銷，本課程發票將由工業技術研究院開立，請於收到開課通知後繳費。 -
聯絡人
TEL：02-27293933 ext.17楊小姐, ext.22鄭小姐
FAX：02-27293950
E-mail：vivi@teeia.org.tw, anne@teeia.org.tw
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