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先進封裝RDL重佈線技術人才培訓班(2025/6/19-6/20)

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    近年來,電子工業逐漸將電子元件上的銅導線(Cu interconnects)及其相對應的接點(solder joints)結構縮小,以因應電子產品朝多功能及高效能發展的技術需求。也因此,微接點可靠度的提升已成為電子封裝品質良窳的關鍵指標。另一方面,在電路細微化的發展趨勢下,整合扇出型晶圓級封裝(integrated fan-out wafer level packaging, InFO WLP)與高階晶片載板(chip-carrier board)之精細RDL銅導線技術逐漸朝次微米的尺度邁進(L/S < 1 μm/1 μm),對於如何增進其物理(機械)/化學(腐蝕 & 焊接)等特性亦成為電子工業必須需面臨的挑戰。

    本課程擬探討現今及未來可能應用之電子封裝及新式表面處理技術,以加強學員有關不同封裝尺度下之微接點結構差異、電性、及機械可靠度。在課程第二階段,我們將由電鍍銅的晶體微結構(crystallographic structure)出發,並搭配數值模擬(ANSYS-HFSS & COMSOL Multiphysics)分析,來探討有關電鍍銅技術及導線製作的問題與挑戰。


    議程

    6/19

    09:30-16:30

    何政恩 (元智大學 化材系教授)

    1. 半導體封裝、RDL、表面處理(Surface Finish)技術演進
    2. 5G通訊技術與高頻材料發展與規格
    3. 三維積體電路封裝及微接點技術(I):焊接可靠度
    4. 三維積體電路封裝及微接點技術(II):電遷移(EM)可靠度
    5. 介金屬接點(IMC Joints)之可靠度、銅-銅對接技術
    6. 電鍍銅之自退火(self-annealing)行為(RDL相關議題)

    6/20

    09:30-16:30

    何政恩 (元智大學化材系教授)

    7. 電鍍銅填孔行為及其晶體微結構 (HDI相關議題)
    8. 電鍍銅異常腐蝕行為及其晶體微結構 (RDL相關議題)
    9. 高速電鍍銅 (3D封裝相關議題)
    10. 脈衝-反脈衝電鍍銅 (5G內埋散熱元件相關議題)
    11. 精細銅導線改質與特性(RDL相關議題)
    12. 基板與銅導線結合力的提升 (5G通訊相關議題)

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